サムスン電子、ソウルブレイン液体フッ化水素品質評価「合格」…半導体プロセス導入「秒読み」

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サムスン電子がソウルブレインが提供する液体フッ化水素を電撃導入する。厳しいことで有名なサムスン電子の社内テストも通過して工程への投入が「秒読み」に入ったとみられる。

30日、半導体業界によると、ソウルブレインは忠南公州工場増設ラインを9月末から本格稼動する。
ここで生産されているほとんど（90％以上）の液体フッ化水素追加分がサムスン電子の半導体工程に供給されることがわかった。
ソウルブレインの液体フッ化水素がサムスン電子半導体工程に適しているかをテストするプロセスは、すでに24日終了したことが確認されている。
結果は、工程投入が可能な品質であった。サムスン電子が要求する純度を満たしている「合格品」ということだ。
業界のある関係者は、「ソルブレインの製品が最終テストに合格し増設される物量の100％をサムスンが購入同意したことがわかっている」と説明した。

サムスン電子とSKハイニックスは日本政府の輸出規制の施行以来、半導体素材の国産化を本格的に進めている。
過去10日頃からフッ化水素とフォトレジスト（PR）などのコア材料の品質テストを実施し供給先の多様化を図っている。
サムスン電子がソウルブレインの液体フッ化水素追加分を工程に投入すれば、日本企業への依存度が大幅に下落すると見られる。
SKハイニックスはSKマテリアルズを、サムスン電子はソウルブレインをそれぞれフッ化水素供給先として選択する可能性が高く見込まれている。
フッ化水素の脱日本戦略が徐々に現実化している形だ。
サムスン電子は、今回のソウルブレインの液体フッ化水素テスト、ガスフッ化水素導入を同時に検討したものと推定される。
気体フッ化水素供給企業はFoosungなどが挙げられる。ただし、彼らが提供した気体フッ化水素サンプルの結果はまだ出ていない状態であると思われる。

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